| 酸催化正硅酸乙脂溶胶-凝胶二氧化硅薄膜的制备 |
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| 引用本文： | 殷明志,姚熹,李振荣,张良莹.酸催化正硅酸乙脂溶胶-凝胶二氧化硅薄膜的制备[J].西安交通大学学报,2002,36(8):847-850,880. |
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| 作者姓名： | 殷明志 姚熹 李振荣 张良莹 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子材料与器件研究所,710049,西安 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目
(5 0 0 0 2 0 0 9) |
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| 摘 要： | 针对正硅酸乙脂 (TEOS)溶胶 -凝胶工艺制备的二氧化硅凝胶薄膜在热处理过程中出现的龟裂现象 ,通过控制TEOS水解条件 ,使反应体的最初水解中间体以任意三维方向线状聚合 ,再水解时能形成线状 -粒状结构二氧化硅溶胶 .水解体系中引入的有机添加剂丙三醇与水解中间体结合后 ,改变了二氧化硅的聚集状态 ,而聚乙烯醇使二氧化硅溶胶具有无机 -有机网状结构 .通过该工艺制备的二氧化硅溶胶易于成膜 ;所形成的二氧化硅薄膜结构均匀 ,厚度可控 ,表面致密 ,其折射率为 1 5 43～ 1 5 80 ,热导率为 0 3W / (m·K) .
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| 关 键 词： | 酸催化 制备 正硅酸乙脂 溶胶－凝胶工艺 二氧化硅薄膜 纳米多孔薄膜 薄膜结构 |
| 文章编号： | 0253-987X(2002)08-0847-04 |
Preparation of Silica Films from Tetraethyl Orthosilicate Sol-Gel Process Catalyzed with Acid |
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| Yin Mingzhi,Yao Xi,Li Zhenrong,Zhang Liangying.Preparation of Silica Films from Tetraethyl Orthosilicate Sol-Gel Process Catalyzed with Acid[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,2002,36(8):847-850,880. |
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| Authors: | Yin Mingzhi Yao Xi Li Zhenrong Zhang Liangying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | tetrathyl orthosilicate sol gel technique silica film |
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