| CdS薄膜制备方法及其性能比较研究 |
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| 引用本文： | 王洪浩,黎兵,黄杨,刘才,李愿杰,颜璞,孟奕峰,冯良桓. CdS薄膜制备方法及其性能比较研究[J]. 四川大学学报(自然科学版), 2009, 46(1): 167-170 |
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| 作者姓名： | 王洪浩 黎兵 黄杨 刘才 李愿杰 颜璞 孟奕峰 冯良桓 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学与工程学院;四川大学材料科学与工程学院;四川大学材料科学与工程学院;四川大学材料科学与工程学院;四川大学材料科学与工程学院;四川大学材料科学与工程学院;四川大学材料科学与工程学院;四川大学材料科学与工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60506004); 国家高技术研究发展计划(2003 AA513010) |
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| 摘 要： | 用三种方法（化学水浴法、真空蒸发法和磁控溅射法）在玻璃衬底上制备了CdS薄膜.用测厚仪、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和光学透过率谱等手段测试了各薄膜的厚度、晶面取向、表面形貌、晶粒分布、透过率等，计算了各薄膜的光能隙.结果显示，磁控溅射法适于制备ZnS/CdS超晶格薄膜中的CdS.
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| 关 键 词： | CdS薄膜 磁控溅射 化学水浴 真空蒸发 |
Comparative studies of the preparation and properties of CdS films |
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| WANG Hong-Hao,LI Bing,HUANG Yang,LIU Cai,LI Yuan-Jie,YAN Pu,MENG Yi-Feng and FENG Liang-Huan. Comparative studies of the preparation and properties of CdS films[J]. Journal of Sichuan University (Natural Science Edition), 2009, 46(1): 167-170 |
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| Authors: | WANG Hong-Hao LI Bing HUANG Yang LIU Cai LI Yuan-Jie YAN Pu MENG Yi-Feng FENG Liang-Huan |
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| Affiliation: | College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CdS films magnetron sputtering chemical bath deposition vacuum evaporation |
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