| 射频等离子体放电动态过程的流体动力学模拟 |
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| 引用本文： | 尹世明,吴一平,程宇航,乔学亮. 射频等离子体放电动态过程的流体动力学模拟[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1998, 0(Z1) |
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| 作者姓名： | 尹世明 吴一平 程宇航 乔学亮 |
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| 作者单位： | 华中理工大学模具技术国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 用流体动力学方法研究了射频放电的动态演变过程．得到了粒子密度、电子能量和电场的动态分布图．通过对功率密度的推导和鞘层厚度的定量定义，发现两者之间存在一定的函数关系．此外，动态分布图还表明：放电的演变主要发生在鞘层内部，两鞘层的演变相差１８０°相位角，极板材料对放电有影响．
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| 关 键 词： | 射频；流体动力学；计算机模拟 |
Hydrodynamics Simulation of the Dynamic Process of RF Plasma Discharge |
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| Ying Shiming Postgraduate, State Key Laboratory of Die Tech.,HUST,Wuhan ,China. Wu Yiping Chen Yuhang Qiao Xueliang. Hydrodynamics Simulation of the Dynamic Process of RF Plasma Discharge[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1998, 0(Z1) |
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| Authors: | Ying Shiming Postgraduate State Key Laboratory of Die Tech. HUST Wuhan China. Wu Yiping Chen Yuhang Qiao Xueliang |
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| Affiliation: | Ying Shiming Postgraduate, State Key Laboratory of Die Tech.,HUST,Wuhan 430074,China. Wu Yiping Chen Yuhang Qiao Xueliang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | radio frequency hydrodynamics computer simulation |
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