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SiO薄膜的光致发光研究
引用本文:林峰,盛篪.SiO薄膜的光致发光研究[J].自然科学进展,1999,9(A12):1193-1197.
作者姓名:林峰  盛篪
摘    要:通过对SiO2薄膜经退火后的室温光致发光研究,发现SiO薄膜的发光谱中存在绿光和红光两个发光带,绿光带是起源于与氧有关的缺陷发光,而红光带则是纳米尺寸的微晶Si的量子限制效应引起的发光。

关 键 词:光致发光  量子尺寸效应  一氧化硅  薄膜
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