扫描隧道显微镜电压脉冲法加工产生纳米结构的研究

采用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）电压脉冲法，在大气环境中进行了纳米级超微加工的实验研究，分别用钨探针和镀金钨探针，以高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）和金薄膜为样品，通过在ＳＴＭ探针和样品之间施加一定的电压脉冲，制造出了尺度在纳米量级的结构，对形成的结构特征进行了分析，并总结了部分实验规律。