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利用真空蒸镀的氧化锌薄膜进行绝缘体表现金属化
引用本文:
杨永安,魏毅斌.利用真空蒸镀的氧化锌薄膜进行绝缘体表现金属化[J].自然科学进展,1999,9(A12):1379-1382.
作者姓名:
杨永安
魏毅斌
摘 要:
利用真空蒸地在光滑的玻璃表面直接制备一层ZnO多晶薄膜,与喷射热分角轩的ZnO薄膜相比,允许的线宽更窄更细,经Pd溶液活化后,继续浸入化学镀铜液中,在Pd^2+的催化作用下,玻璃表面沉积出一层光亮的铜膜,表明使用该方法易于获得承着牢固, 细小和导电性好的金属铜层,有望用于印刷电路板的高密度配线。
关 键 词:
氧化锌薄膜
真空蒸镀
表面金属化
绝缘体
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