化学气相沉积技术和无机膜

综述了化学气相沉积技术在无机分离膜领域中的应用和发展近况，报道了作者所在实验室近几年来的研究进展，并从无机分离膜的超薄化、实用化出发，列举了该领域有待进行的科学和技术基础研究课题。