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| 用三角波电压扫描(TVS法)测量二氧化硅层中可动离子的沾污 | |
| 引用本文： | 张久惠,高嵩.用三角波电压扫描(TVS法)测量二氧化硅层中可动离子的沾污[J].辽宁大学学报(自然科学版),1985(2). |
| 作者姓名： | 张久惠 高嵩 |
| 摘 要： | 本文介绍了用三角波电压扫描(TV5)法测量SiO_2层中可动离子的一般方法。它具有测试方法简便,测试结果直观的优点,可作为检测氧化层质量的一种测试手段。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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