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离子注入中碳污染膜的研究
引用本文:
阎鹏勋.离子注入中碳污染膜的研究[J].甘肃科学学报,1992,4(3):45-50.
作者姓名:
阎鹏勋
作者单位:
兰州大学物理系 兰州
摘 要:
本文研究了离子注入过程中样品表面碳污染的来源,以及各种注入因素对碳膜厚度的影响。文中对碳膜沉积对离子注入样品的性能影响也给予了适当的讨论。
关 键 词:
离子注入
碳污染膜
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