| 用反射椭偏术测膜厚实验中存在的问题及解决办法(英文) |
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| 引用本文： | 孙兆奇,曹卓良.用反射椭偏术测膜厚实验中存在的问题及解决办法(英文)[J].安徽大学学报(自然科学版),1997,21(2):38-41. |
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| 作者姓名： | 孙兆奇 曹卓良 |
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| 作者单位： | 安徽大学物理系 |
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| 摘 要： | 薄膜科学与技术是当前高科技中的一个重要领域，用反射式椭偏仪测量薄膜厚度是一个重要的物理实验．然而，目前的实验内容只能确定膜厚在第一周期以内的值而不能确定膜厚的周期数，因而不能测得薄膜的实际厚度．本文讨论了这一问题并提供了一个简易可行的解决办法
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| 关 键 词： | 膜厚测量 反射椭偏术 |
Problem and Solution for Film-Thickness Measurement Experiment with Reflecting Ellipsometry |
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| Sun Zhaoqi,Cao Zhuoliang,Wu Guifang.Problem and Solution for Film-Thickness Measurement Experiment with Reflecting Ellipsometry[J].Journal of Anhui University(Natural Sciences),1997,21(2):38-41. |
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| Authors: | Sun Zhaoqi Cao Zhuoliang Wu Guifang |
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| Abstract: | Film-thickness measurement using an ellipsometer has long been a popular physics experiment for science students in universities and colleges. However, students can not determine the number of film-thickness periods by the conventional way, thus the actual film thickness can not be obtained. This paper discusses the problem and offers an easy solution. |
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| Keywords: | Film-thickness measurment reflecting ellipsometry |
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