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等离子体增强化学气相沉积Ti—Si—N膜

引用本文：	石玉龙,彭红瑞.等离子体增强化学气相沉积Ti—Si—N膜[J].青岛化工学院学报(自然科学版),1995,16(1):59-64.

作者姓名：	石玉龙彭红瑞

摘要：
关键词：	等离子体化学气相沉积氮化钛氮化硅钛硬膜
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