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| KDP晶体潮解抛光中抛光行程的研究 | |
| 引用本文： | 刘佳航,郭少龙,潘丽莉,白浩辰,张庆怀.KDP晶体潮解抛光中抛光行程的研究[J].哈尔滨商业大学学报(自然科学版),2023(1):67-71. |
| 作者姓名： | 刘佳航 郭少龙 潘丽莉 白浩辰 张庆怀 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨商业大学轻工学院;2. 哈尔滨东安汽车发动机制造有限公司技术中心 |
| 摘 要： | 对KDP晶体潮解抛光过程进行了运动学分析，得到了KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的抛光行程的表达式.分别计算了KDP晶体表面上一点到载样盘圆心的水平距离、抛光垫转数、摆动周期取不同值时KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的抛光行程，并绘制了抛光行程曲线，得到了这些参数对抛光行程的影响规律. |
| 关 键 词： | 晶体 KDP 抛光 潮解作用 抛光行程 材料去除率 |