丙酮离子传感器的制备 |
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引用本文: | 李捷,童敏明,刘涛.丙酮离子传感器的制备[J].科技咨询导报,2010(3):115-116. |
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作者姓名: | 李捷 童敏明 刘涛 |
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作者单位: | 中国矿业大学信息与电气工程学院,江苏徐州221008 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(No.60674110). |
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摘 要: | 本文提出了一种丙酮离子传感器的制备方法。采用纳米结构的SiO2和Ta2O5制作出敏感膜,涂覆在MOSFET的金属栅极上从而得到氢离子敏场效应传感器,将丙酮溶液采用催化剂热解离法解离出氢离子之后,再用离子敏场效应传感器检测氢离子,从而间接的实现了丙酮的检测。
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关 键 词: | 丙酮 催化剂 热解离 氢离子敏场效应传感器 纳米 SiO2 Ta2O5 |
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