| 音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究 |
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| 引用本文： | 裘安萍,蔡体菁,周百令,王寿荣. 音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究[J]. 东南大学学报(自然科学版), 2000, 30(1): 131-135 |
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| 作者姓名： | 裘安萍 蔡体菁 周百令 王寿荣 |
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| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程系,南京,210096 |
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| 摘 要： | 粘滞阻尼的研究对硅微机械振动陀螺仪的设计至关重要。而品质因数的大小反映了阻尼特性。本文首先理论分析了硅微型机构振动陀螺仪粘滞阻尼的耗能，然后根据耗能分析给出了驱动结构和敏感结构的品质因数。
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| 关 键 词： | 硅微机械振动陀螺仪 粘滞阻尼 品质因数 音叉式 |
Study on Viscous Damping in Silicon Micromechanical Vibratory Gyroscope |
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| Qiu Anping,Cai Tijing,Zhou Bailing,Wang Shourong. Study on Viscous Damping in Silicon Micromechanical Vibratory Gyroscope[J]. Journal of Southeast University(Natural Science Edition), 2000, 30(1): 131-135 |
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| Authors: | Qiu Anping Cai Tijing Zhou Bailing Wang Shourong |
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| Abstract: | Study on viscous damping is critical for the design of silicon micromechanical vibratory gyroscopes. This paper presents a theoretical study of viscous energy dissipation, and gives the estimating practical quality factor about driven frame and sense frame. |
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| Keywords: | silicon micromechanical vibratory gyroscope viscous damping quality factor |
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