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| 基于有限元的圆锥螺旋MEMS弹簧非线性分析 | |
| 作者单位： | ;1.陕西理工学院机械工程学院 |
| 摘 要： | 弹簧作为控制机件运动、缓和冲击或震动、贮蓄能量的基本机械零件,它的作用在微机电系统(MEMS)中不可替代。设计一种应用于MEMS的圆锥形微弹簧,通过有限元方法对圆锥微弹簧非线性接触状态下,所表现的弹性特性进行了计算,得到微弹簧弹性特性曲线,并对微弹簧的非线性特性进行了分析,结果表明圆锥弹簧的刚度具有明显的非线性。有限元计算结果与理论公式计算结果基本一致,说明了采用有限元方法的可靠性。这种方法的采用对于微弹簧的优化、设计与加工具有实际意义。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 圆锥螺旋微弹簧 有限元方法 非线性 |
Analysis of nonlinear conical helical MEMS spring based on the FEM |
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