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ZnSnO3气敏元件灵敏度与加热电压的关系
作者姓名:
刘焕林 吴兴惠
摘 要:
对ZnSnO3气敏元件特性的测试结果表明,元件灵敏度随加热电压的变化而变化,当加热电压小于某一特定值VH0时,灵敏度不变,当加热电压大于3倍VH0时,灵敏度降低,元件失效。通过X射线衍射和SEM二次电子能谱等检测实验,找出了气敏元件灵敏度降低的原因。
关 键 词:
气敏元件 灵敏度 加热电压 ZnSnO3 氧化物半导体
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