| PECVD技术制备碳纳米管的研究 |
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| 引用本文： | 席彩萍. PECVD技术制备碳纳米管的研究[J]. 江西科学, 2013, 31(2) |
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| 作者姓名： | 席彩萍 |
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| 作者单位： | 渭南师范学院物理与电气工程学院,陕西渭南,714000 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅科研基金资助项目，陕西省教育科学规划项目 |
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| 摘 要： | 碳纳米管的制备方法有电弧法、激光蒸发法、化学气相沉积法(CVD法)、火焰法、水热法和模板法等.主要介绍了等离子体化学气相沉积法制备碳纳米管,并对此方法制备的碳纳米管形貌进行了表征,最终优化出最佳的实验工艺.
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| 关 键 词： | 碳纳米管 PECVD 催化剂 |
The Synthetizing of Carbon Nanotube by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition |
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| XI Cai-ping. The Synthetizing of Carbon Nanotube by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition[J]. Jiangxi Science, 2013, 31(2) |
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| Authors: | XI Cai-ping |
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| Keywords: | |
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