| 同步辐射真空紫外球面闪耀光栅研究 |
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| 引用本文： | 傅绍军,洪义麟.同步辐射真空紫外球面闪耀光栅研究[J].中国科学技术大学学报,1995,25(3):298-301. |
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| 作者姓名： | 傅绍军 洪义麟 |
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| 作者单位： | 合肥国家同步辐射实验室 |
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| 摘 要： | 采用全息－离子束刻蚀微细加工技术在石英基板上成功地刻蚀出了１２００线／ｍｍ、闪耀角５°１０’的锯齿槽形闪耀光栅．对全息光刻、显影等掩模制作工艺和离子束刻蚀参数的控制等进行了讨论，还给出了在同步辐射光化学光束线上的测试结果．
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| 关 键 词： | 同步辐射，真空紫外，闪耀光栅 |
Fabrication of Vacuum Ultraviolet Blazed Grating for Synchrotron Radiation |
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| Fu Shaojun,Hong Yilin, Tao Xiaoming, Sheng Liusi, Zhang Yunwu.Fabrication of Vacuum Ultraviolet Blazed Grating for Synchrotron Radiation[J].Journal of University of Science and Technology of China,1995,25(3):298-301. |
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| Authors: | Fu Shaojun Hong Yilin Tao Xiaoming Sheng Liusi Zhang Yunwu |
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| Keywords: | synchrotron radiation VUV baized grating |
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