提高集成电路工艺中的纯水质量

于10×10~6Ω-cm的高纯水约5吨。可供MOS集成电路研制工艺线稳定使用二星期。电子工业中用来表示水的纯度的主要指标是水中含盐量(即水中各种盐类阳、阴离子的数目)的多少。通常用电阻率来表示。在25℃理想纯水的电阻率理论值是18.24×10~6Ω-cm。蒸馏水的电阻率约2×10~5Ω-cm。本地区的自来水电阻率约为3～4×10~3Ω-cm。表一列出各种不同半导休器件对纯水的要求。