| 通孔结构阳极氧化铝湿敏传感器的制备与性能表征 |
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| 作者姓名： | 凌志远 陈烁烁 王金池 李屹 |
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| 作者单位： | 华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系,广州,510640;华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系,广州,510640;华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系,广州,510640;华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系,广州,510640 |
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| 基金项目： | 特种功能材料教育部重点实验室开放基金资助项目 |
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| 摘 要： | 以0.5 mol/L草酸为电解液, 在40 V直流电压、0~5℃下采用二步氧化法制备通孔阳极氧化铝膜片, 用射频磁控溅射在膜片上下表面沉积金电极, 成功地制备了一种通孔结构湿敏传感器. 湿度-阻抗特性测试显示, 该传感器不但可在12%~97%的相对湿度范围内具有良好的阻抗-湿度线性变化关系, 而且具有响应恢复速度快、重复稳定性好的特征.
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| 关 键 词： | 湿敏传感器 阳极氧化铝 多孔电极 |
| 收稿时间： | 2007-04-29 |
| 修稿时间： | 2007-04-292007-05-25 |
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