| 半导体激光放大器高效减反膜 |
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| 引用本文： | 刘德明,黄菊仙,黄德修.半导体激光放大器高效减反膜[J].华中科技大学学报(自然科学版),1991(5). |
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| 作者姓名： | 刘德明 黄菊仙 黄德修 |
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| 作者单位： | 华中理工大学光学工程系
(刘德明，黄菊仙)，华中理工大学光学工程系(黄德修) |
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| 摘 要： | 本文提出了设计高斯场光学膜系的方法、电子枪真空反应溅射工艺和反射率实时监控技术.利用所提出的设计方法、工艺和监控技术,在面积为0.2×2μm~2的半导体激光器(LD)芯片有源层解理面上,设计制备了剩余反射率低至5×10~(-4)的减反膜,从而获得性能优越的行波半导体激光放大器.
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| 关 键 词： | 减反膜 光放大器 半导体激光 |
A High-Efficiency AR Film for TW-SLA |
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| Liu Deming Huang Juxian Huang Dexiu.A High-Efficiency AR Film for TW-SLA[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,1991(5). |
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| Authors: | Liu Deming Huang Juxian Huang Dexiu |
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| Institution: | Liu Deming Huang Juxian Huang Dexiu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Anti-reflection (AR) film Optical amplifier Semiconductor laser |
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