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高能Ar离子辐照单晶Si引起的损伤效应研究

引用本文：	刘昌龙,侯明东.高能Ar离子辐照单晶Si引起的损伤效应研究[J].青岛大学学报(自然科学版),1997(A00):377-378.

作者姓名：	刘昌龙侯明东

摘要：
关键词：	半导体单晶硅辐射损伤氩离子高能
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