|
|||||
|
|
| 热厚衬底上薄膜材料热导率测量 | |
| 引用本文： | 崔景彪,.热厚衬底上薄膜材料热导率测量[J].科学通报,1996,41(3):280-282. |
| 作者姓名： | 崔景彪 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学物理系(崔景彪)，结构分析开放实验室!合肥230026(方容川) |
| 基金项目： | 国家“863”高科技发展计划，国家教委博士学科点专项基金资助项目 |
| 摘 要： | 热导率是表征材料热学性能的重要参数之一.为了测量材料的热导率,人们发展了多种测量方法,光热偏转技术便是其中重要的一种.该方法已被成功地用于测量体材料和无衬底的薄膜材料的热导率,但在测量带有衬底的薄膜材料时,同其他方法一样,遇到了困难,目前尚未很好解决.本文报道应用光热偏转技术,测量了导热较差的热厚衬底(热波长小于本身厚度)上铜膜和金刚石膜的热导率.l 样品和实验方法 |
| 关 键 词： | 薄膜 衬底 热导率 光热偏转 测量 |
| 收稿时间： | 1994-12-29 |
| 修稿时间： | 1995-04-14 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《科学通报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《科学通报》下载免费的PDF全文 | |