| 光电子材料铝镓铟磷的椭偏研究 |
| |
| 引用本文： | 连洁,王青圃,魏爱俭,李平,王玉荣,张晓阳,秦晓燕. 光电子材料铝镓铟磷的椭偏研究[J]. 山东大学学报(理学版), 2002, 37(4): 324-328 |
| |
| 作者姓名： | 连洁 王青圃 魏爱俭 李平 王玉荣 张晓阳 秦晓燕 |
| |
| 作者单位： | 1. 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100
2. 山东大学晶体材料所,济南,250100 |
| |
| 基金项目： | “8 6 3”计划资助项目 ( 86 3 -71 5 -0 0 1 -0 1 71 )，山东大学青年科学基金资助项目 . |
| |
| 摘 要： | 在室温下，运用反射椭偏光谱技术，对生长在砷化镓上的铝镓铟磷以及铝镓铟磷（掺硅）两样品进行了研究。测得它们在可见光区的光学常数，求得吸收系数、介电函数随光子能量的变化关系。对样品的介电函数虚部谱进行数值微分，得到它们的三级微谱。通过对样品的吸收系数谱和介电函数虚部的三级微商谱的分析，得到两样品的带隙Eg，Eg Δ0和Eg以上成对结构跃迁的能量位置及间隔。将Eg和Eg Δ0的值与计算值和已发表的值比较，符合较好，但存在小的差异。分析发现，样品存在有序结构是引起差异的主要原因。根据椭偏测量的数据，用有效介质近似理论计算了样品中铝的组分，并与X射线微区分析的测量结果加以比较，二者一致。
|
| 关 键 词： | 光电子材料 铝镓铟磷 反射椭偏光谱技术 带隙 吸收系数 介电函数 半导体化合物 光子能量 三级微商谱 |
| 文章编号： | 1671-9352(2002)04-0324-05 |
| 修稿时间： | 2002-01-09 |
Study on the Optoelectronical Materials AlGaInP by Ellipsometric Spectroscopy |
| |
| LIAN Jie ,WANG Qing-pu ,WEI Ai-jian ,WANG Yu-rong ,LI Ping ,ZHANG Xiao-yang , QIN Xiao-yan. Study on the Optoelectronical Materials AlGaInP by Ellipsometric Spectroscopy[J]. Journal of Shandong University, 2002, 37(4): 324-328 |
| |
| Authors: | LIAN Jie WANG Qing-pu WEI Ai-jian WANG Yu-rong LI Ping ZHANG Xiao-yang & QIN Xiao-yan |
| |
| Affiliation: | LIAN Jie 1,WANG Qing-pu 1,WEI Ai-jian 1,WANG Yu-rong 1,LI Ping 1,ZHANG Xiao-yang 2 & QIN Xiao-yan 2 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ellipsometric spectroscopy technique Al content band gap |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
