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| 纳电子器件的加工组装技术及SPM信息存储(摘要) | |
| 引用本文： | 刘忠范.纳电子器件的加工组装技术及SPM信息存储(摘要)[J].科学技术与工程,2002,2(1). |
| 作者姓名： | 刘忠范 |
| 作者单位： | 北京大学纳米科技中心北京大学化学与分子工程学院 |
| 摘 要： | 以单电子隧穿器件为代表的纳电子器件研究是当前人们关注的热点话题。由于所涉及到的结构尺寸非常小(通常为十数个纳米甚至几个纳米),现行微加工技术根本无法满足要求,因此,发展纳米尺度的结构加工技术是开展此类研究的关键。通常有两个思路:一个是“自上而下”的传统加工方法,如缩短光的波长,利用深紫外光、X 光、电子束和离子束等:另一个是“自下而上”的组装方法,从原子、分 |
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