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| 二维场的一个校正函数 | |
| 引用本文： | 王绍钧.二维场的一个校正函数[J].科学通报,1994,39(23):2195-2195. |
| 作者姓名： | 王绍钧 |
| 作者单位： | 山东工业大学自动化工程系 济南250014 |
| 摘 要： | 由数字-模拟系统控制的二维偏转场的畸变校正,是束(电子束、光子束等)微细加工的重要技术,其关键问题是如烘给出一个近似的校正函数,一般文献中多采用整式函数.实际的偏转场,不仅存在几烘象差引起的畸变、偏转系统的不对称性等原因,会形成各种畸变的叠加,所以需要校正的畸变往往是很复杂的.虽然如此,但由于畸变的总尺寸可以精确的测量,因此,本文用曲线坐标变换的原理描述畸变现象;依据测量的结果,用分离子场的数字校正法推演校正函数,结果是分式线性函数,较整式函数具有计算简单且运算误差小等优点. |
| 关 键 词： | 微细加工 二维场 校正函数 数字－模拟系统 |
| 收稿时间： | 1994-01-27 |
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