光学轮廓仪中微位移调制方法的分析研究

应用ＰＺＴ作为微位移驱动机构，研制的光学轮廓仪的垂直分辨率可达１ｎｍ，可实现对表面Ｒａ从０．１６μｍ至０．０１μｍ的精确测量，在测试分析位移－电压动态响应特性基础上，讨论了微位移调制误差对仪器精度的影响，提出了改善响应线性度的方法，使仪器在工作频率范围内响应的线性度达到１．０８％，保证了仪器的测量精度。