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微观形貌扫描隧道显微镜检测的性能分析
作者姓名:
李尚平 张鸿海
摘 要:
对自行研制的双功能扫描隧道显微镜(STM)的性能特点进行了研究,探讨了影响其纵、横向分辨率的有关因素;对其用于超精微观表面形貌的检测精度进行了分析,提出了其灵敏度、分辨率及视场连续可调的原理;并通过实验检测了原子级分辨率和纳米级分辨率的微观表面形貌,探讨了用STM在不辨率条件下对于微观形貌进行检测的可行性。
关 键 词:
显微镜 微观形貌 分辨率 隧道电流
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