用光波导法测量外延石榴石薄膜的光学参数

用棱镜耦合在磁性石榴石外延膜进行光导波传输，通过测量传输耦合角，可同时确定外延膜的折射率和厚度。薄膜折射率测量误差为２．８×１０＾－３，薄膜厚度测量相对误差为０．００５。