| 空心阴极放电离子镀法沉积氮化钛涂层 |
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| 引用本文： | 解正国,石铭德,庄谨.空心阴极放电离子镀法沉积氮化钛涂层[J].清华大学学报(自然科学版),1995(2). |
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| 作者姓名： | 解正国 石铭德 庄谨 |
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| 作者单位： | 清华大学核能技术设计研究院 |
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| 摘 要： | 论述了空心阴极放电离子镀的工作原理，ＫＹＦ－６００型离子镀膜机的特点，各工艺参数的选择与控制以及ＴｉＮ涂层齿轮切削性能的试验与结果分析。试验表明，经镀覆ＴｉＮ的高速钢齿轮刀具可提高寿命１至４倍，经济效益显著。
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| 关 键 词： | 空心阴极，放电离子镀，氮化钛，涂层 |
TiN coating deposited by hollow cathode discharge ion plating |
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| Xie Zhengguo,Shi Mingde,Zhuang Jin.TiN coating deposited by hollow cathode discharge ion plating[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1995(2). |
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| Authors: | Xie Zhengguo Shi Mingde Zhuang Jin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HCD (hollow cathode discharge) ion plating TiN coating |
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