全玻璃无油超高真空系统的研制

本文介紹一种簡单实用、廉价的全玻璃无油超高真空系統。系統包括冷吸附泵、钛泵、前置閥門和超高真空閥門四部分。其中,前置玻璃无油閥门是参考并改进一九七三年Pope公司介紹的产品;超高真空閥門是采用翻边式和磨砂结构的鎵閥門,其漏气量可比普通結构降低四个数量級,而且能承受一个大气压力差;鈦泵采用钛球升华离子泵,升华器的钛貯量約15克,比老式的纏繞式升华器增加了几十倍,钛泵壁的冷却采用外加水冷套,大大地简化了鈦泵制作工艺和降低成本。用机械泵和吸附阱代替冷吸附泵.可构成玻璃的半无油超高真空系统.在液氮供应困难的地区有使用价值。最后介绍玻璃无油系统在电子管排气和计量部门的一些应用。