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| 用离子注入改进真空中玻璃面闪络 | |
| 引用本文： | 张兆林,刘希举,王宜华,刘吉田,陈鲁.用离子注入改进真空中玻璃面闪络[J].山东大学学报(理学版),1989(3). |
| 作者姓名： | 张兆林 刘希举 王宜华 刘吉田 陈鲁 |
| 作者单位： | 山东大学物理系，山东大学物理系，山东大学物理系，山东大学物理系，山东大学物理系 |
| 摘 要： | 本文报导把 He~ 注入玻璃表面增强了玻璃在真空中的面闪络电压,当注入剂量是4×10~(17)离子/厘米~2时,面闪络电压提高了68%.在讨论中分析了改进面闪络的原因。 |
| 关 键 词： | 离子注入 面闪络 吸附 脱附 二次电子发射 |
IMPROVEMENT OF SURFACE FLASHOVER OF GLASS IN VACUUM BY ION IMPLANTATION |
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| Abstract: | |
| Keywords: | ion implantation surface flashover adsorption desorption secondary electron emission |
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