晶圆缺陷数据的建模与仿真

以晶圆缺陷数据为例,提出针对空间离散数据的层级IGMRF模型。为了研究晶圆数据的空间分布和空间结构对空间信息的影响,建立了一阶IGMRF模型和二阶IGMRF模型,同时引入了3种空间距离。利用贝叶斯推断结合层级模型中参数的先验分布推导模型参数的后验分布。通过MCMC算法循环迭代生成目标参数的后验分布值。借助DIC指标,说明层级IGMRF模型能够很好的模拟晶圆缺陷数据的分布特征。而且针对晶圆缺陷数据分布的稀疏程度,可以调整模型从而得到更好的拟合效果。