| 微型梁杨氏模量与内应力的固有频率法测量 |
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| 引用本文： | 蒋庄德,卢德江,王小斌,陈伟.微型梁杨氏模量与内应力的固有频率法测量[J].西安交通大学学报,2000,34(5):55-58. |
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| 作者姓名： | 蒋庄德 卢德江 王小斌 陈伟 |
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| 作者单位： | 西安交通大学,710049,西安 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 !(ED5020203)，国防科工委预研青年基金资助项目!(96008) |
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| 摘 要： | 为实现对硅微机械与光纤组合式阵列传感器的核心敏感元件－微型硅梁的杨氏模量和内应力进行测试，提出了利用光纤耦合机理来测量微型硅梁的横向固有振动频率，进而推导梁构件杨氏模量和内应力的方法，原理简洁，具有实现也较为可行，从而为机械构件的机械性能测试分析提供了方法，具有实用意义。
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| 关 键 词： | 杨氏模量 内应力 微型硅梁 MEMS 固有频率法 |
| 修稿时间： | 1999－10－04 |
Determination of Young's Modulus and Internal Stress from Natural Frequency of Micro Beam |
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| Jiang Zhuangde,Lu Dejiang,Wang Xiaobin,Chen Wei.Determination of Young's Modulus and Internal Stress from Natural Frequency of Micro Beam[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,2000,34(5):55-58. |
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| Authors: | Jiang Zhuangde Lu Dejiang Wang Xiaobin Chen Wei |
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