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基于磁控溅射制备的YIG薄膜结构与磁性能
作者姓名:
肖杨
卢志红
张振华
赵新
冯金地
作者单位:
武汉科技大学材料学部
基金项目:
国家自然科学基金项目(91963207);
摘 要:
使用射频磁控溅射在衬底上沉积了纳米级YIG薄膜,借助X射线衍射仪、振动样品磁强计、铁磁共振等研究了溅射气压、溅射功率和退火温度对于所制薄膜结构与磁性能的影响,并基于唯象方程拟合出薄膜样品的Gilbert阻尼系数。
关 键 词:
YIG薄膜
磁控溅射
晶体结构
磁性
Gilbert阻尼
铁磁共振
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