调制周期数对Mo/AZO成分调制多层膜透光、反光特性以及电性能的影响

采用射频(RF)和单极中频脉冲直流(UMFPDC)磁控溅射技术，在300℃下制备了Mo/AZO成分调制多层膜。测试结果表明，Mo/AZO成分调制多层膜以(002)为取向的六方纤锌矿型ZnO结构为主；薄膜中Mo的化学态随薄膜厚度而变化，当薄膜厚度为1.67 nm时，Mo除单质态外，还存在部分+4和+5的离子价态，当薄膜厚度降至0.83 nm时，已无单质态Mo;调制周期数对成分调制多层膜的透光、反光特性以及电性能影响显著，当调制周期数为3时，Mo/AZO成分调制多层膜的综合性能达到最佳，电阻率、霍尔迁移率和载流子浓度分别为8.64×10^-4Ω·cm、8.78 cm²/(V·s)和8.23×10²⁰ cm^-3。在保持金属层、半导体层总厚度不变的情况下，通过改变调制周期数可以增加薄膜的光学透过率并可在较宽范围内调节多层膜的综合性能，这为制备综合性能优异的金属/半导体型透光导电薄膜提供了一条切实可行的途径。