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| MEMS技术的发展与应用 | |
| 引用本文： | 牛君,刘云桥.MEMS技术的发展与应用[J].科技资讯,2007(23):1-2. |
| 作者姓名： | 牛君 刘云桥 |
| 作者单位： | 石家庄职业技术学院,050081 |
| 摘 要： | MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响.本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用. |
| 关 键 词： | MEMS 微机电系统 加工工艺. |
| 文章编号： | 1672-3791(2007)08(b)-0001-02 |
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