| 集成隐藏式3维梳齿电极驱动器的低吸合电压CMOS-MEMS微镜阵列 |
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| 引用本文： | 程正喜,刘亦,徐鹤靓,康晓旭. 集成隐藏式3维梳齿电极驱动器的低吸合电压CMOS-MEMS微镜阵列[J]. 复旦学报(自然科学版), 2022, 61(1): 61-68 |
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| 作者姓名： | 程正喜 刘亦 徐鹤靓 康晓旭 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所,上海200083,上海集成电路研发中心,上海201210 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61874127)；;上海浦江人才计划(18PJ1410700)； |
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| 摘 要： | 微镜阵列芯片是大尺寸画面投影显示系统的主流光学图形产生器.针对德州仪器公司的数字微镜芯片中微镜吸合电压较高的问题,本文采用CMOS后端金属互连层制备隐藏垂直梳齿电极驱动的低吸合电压微镜,在CMOS后端工艺中基本完成MEMS微镜阵列的结构制备,然后在CMOS工艺后附加少量的Post-CMOS工艺.我们采用0.35-μm ...
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| 关 键 词： | 微镜 吸合电压 垂直3维梳齿电极驱动器 |
Low Pull-in Voltage CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays with Integrated Hidden Vertical Three-Dimension Comb Driver |
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| CHENG Zhengxi,LIU Yi,XU Heliang,KANG Xiaoxu. Low Pull-in Voltage CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays with Integrated Hidden Vertical Three-Dimension Comb Driver[J]. Journal of Fudan University(Natural Science), 2022, 61(1): 61-68 |
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| Authors: | CHENG Zhengxi LIU Yi XU Heliang KANG Xiaoxu |
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