| 等离子体离子注入类金刚石多层膜机械特性 |
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| 引用本文： | 马峰,蔡珣,陈秋龙,李刚,马洪涛. 等离子体离子注入类金刚石多层膜机械特性[J]. 上海交通大学学报, 2003, 37(2): 248-251 |
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| 作者姓名： | 马峰 蔡珣 陈秋龙 李刚 马洪涛 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学,教育部高温材料与高温测试重点实验室,上海,200030
2. 清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 59971 0 30 ) |
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| 摘 要： | 采用非平衡磁控溅射及等离子体离子混合注入方法在奥氏体不锈钢 1 Cr1 8Ni9Ti基体上制备 N/ Ti N/ Ti(N,C) / DLC梯度膜 .研究了类金刚石 (DLC)梯度膜的结构特征和力学性能 .试验结果表明 ,N/ Ti N/ Ti(N,C) / DLC梯度膜最外层为典型的 DLC层 .梯度膜的硬度、弹性模量、断裂韧性以及界面结合强度值分别为 1 9.84GPa、1 90 .0 3GPa、3.75MPa· m1/ 2和 5.68MPa·m1/ 2 .试验所制备的 DLC多层膜比 DLC单层膜具有更好的综合机械性能 .
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| 关 键 词： | 类金刚石 断裂韧性 界面结合强度 |
| 文章编号： | 1006-2467(2003)02-0248-04 |
| 修稿时间： | 2002-01-21 |
Mechanical Properties of Diamond-Like Carbon-Based Multilayer Coatings |
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| MA Feng ,CAI Xun ,CHEN Qiu long ,LI Gang ,MA Hong tao. Mechanical Properties of Diamond-Like Carbon-Based Multilayer Coatings[J]. Journal of Shanghai Jiaotong University, 2003, 37(2): 248-251 |
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| Authors: | MA Feng CAI Xun CHEN Qiu long LI Gang MA Hong tao |
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| Affiliation: | MA Feng 1,CAI Xun 1,CHEN Qiu long 1,LI Gang 1,MA Hong tao 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond like carbon (DLC) fracture toughness interfacial fracture toughness |
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