| 探讨溶胶-凝胶工艺制备PZT薄膜 |
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| 引用本文： | 张红芳,佘正国. 探讨溶胶-凝胶工艺制备PZT薄膜[J]. 江苏大学学报(自然科学版), 2002, 23(2): 83-87,94 |
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| 作者姓名： | 张红芳 佘正国 |
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| 作者单位： | 江苏大学材料科学与工程学院,江苏,镇江,212013 |
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| 摘 要： | 介绍溶胶－凝胶法制备PZT铁电薄膜的工艺过程，探讨影响稳定溶胶配制的原材料，溶剂及溶液的pH值选取，分析催化剂和添加剂在提高薄膜质量方面的作用机理，理论上阐述了基片和PbTiO3过渡层对促进PZT薄膜晶化的影响，提出优化溶胶－凝胶技术的关键措施。利用优化工艺对采用无机盐硝酸锆，通过甩胶沉积在α-Al2O3基片上的PZT薄膜的微观表面形貌和相结构进行了观察。
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶 PZT 铁电薄膜 工艺 制备 功能陶瓷 |
| 文章编号： | 1007-1741(2002)02-0083-05 |
A Study on the Preparation of PZT Thin Film Sol-Gel Proccessing |
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| ZHANG Hong fang,SHE Zheng guo. A Study on the Preparation of PZT Thin Film Sol-Gel Proccessing[J]. Journal of Jiangsu University:Natural Science Edition, 2002, 23(2): 83-87,94 |
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| Authors: | ZHANG Hong fang SHE Zheng guo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol gel processing PZT ferroelectric thin film |
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