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| 旋涂SiO_2乳胶薄膜形成的Si—SiO_2系统的特性研究 | |
| 引用本文： | 姚杰,陈宝琼.旋涂SiO_2乳胶薄膜形成的Si—SiO_2系统的特性研究[J].中山大学学报(自然科学版),1980(3). |
| 作者姓名： | 姚杰 陈宝琼 |
| 作者单位： | 中山大学物理学系，中山大学物理学系 |
| 摘 要： | 在硅衬底上形成SiO_2的方法是多种多样的,人们比较熟悉的有热氧化法、硅烷热分解法和正硅酸乙脂热分解法等。我们这里谈的则是另一种新方法——旋涂SiO_2乳胶法,它是由有机氧硅烷的水解聚合物,用特殊的涂布方法在Si衬底上形成SiO_2薄膜的。近几年来人们在SiO_2乳胶中,掺入各种不同的杂质,变成扩散源,应用于器件及集成电 |
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