应用于低失能近轴背散射电子的扩展Everhart理论

将得到广泛应用的Everhart理论加以扩散以使其能包含利用低失能近轴背散射电子的扫描电子显微镜的3个可调参量：入射电子能量、能量损失窗口和探测角。这一扩展不仅丰富了Everhart理论体系，同时使得能用解析的方法定性地描述上述3个参量对高能同轴背散射电子背散射率的影响，和蒙特卡罗模拟结果的对比表明，扩展Everhart理论更适合于解释薄样品中的同轴背散射电子。