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| 台面型变容二极管铝帽沿结构的存在及其影响 | |
| 引用本文： | 李淼.台面型变容二极管铝帽沿结构的存在及其影响[J].河北大学学报(自然科学版),1976(1). |
| 作者姓名： | 李淼 |
| 作者单位： | 河北大学电子系 75届毕业班工农兵学员 |
| 摘 要： | 我们试制的是微合金台面型变容二极管。它是在2.5—3ΩCm/口的N型衬底上采用离子注入磷的方法,使其浓度达到N~ ,再在N~ 上扩硼,然后蒸Al,形成Al—Si合金,光刻Al,然后用化学腐蚀的方法腐蚀出台面,最后溅射SiO_2作台面保护。管的结构如图1所示。 |
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