| 用CVD法在陶瓷上沉积金色氨化钛装饰涂层 |
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| 引用本文： | 蔡作乾,张克鋐. 用CVD法在陶瓷上沉积金色氨化钛装饰涂层[J]. 清华大学学报(自然科学版), 1986, 0(2) |
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| 作者姓名： | 蔡作乾 张克鋐 |
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| 作者单位： | 化学系(蔡作乾)，化学系(张克鋐) |
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| 摘 要： | 本实验实现了以 ＣＶＤ*法采用 ＴｉＣ１４、 ＮＨ３、 Ｎ２及 Ｈ２在陶瓷基体上产生金色的氨化钛涂层。适宜的沉积温度范围为８００～８５０℃。各气体反应物的流量比较小时，可以获得令人满意的、光亮的金色氨化钛涂层。陶瓷上沉积的金色涂层的组成接近化学计量的ＴｉＮ，即Ｎ／Ｔｉ原子比接近１：１。晶格常数ａ０＝４．２４１Ａ。光亮度达到亮金水平。由于氮化钛硬度高，金色氮化钛涂层比真金涂层具有较高的耐磨性，并且它的化学稳定性也高。
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| 关 键 词： | 氯化钛 金色涂层 CVD 陶瓷装饰 |
Decorative Coating of TiN in Golden Color on Ceramic Substrates by Chemical Vapor Deposition |
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| Cai Zuoqian, Zhang Kehong. Decorative Coating of TiN in Golden Color on Ceramic Substrates by Chemical Vapor Deposition[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 1986, 0(2) |
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| Authors: | Cai Zuoqian Zhang Kehong |
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| Affiliation: | Department of Chemistry |
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| Keywords: | titanium nitride coating Of golden CVD decorative on ceramic. |
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