| 等离子体渗氮流量控制系统的研究 |
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| 引用本文： | 郑芙蓉,孙奉娄,危立辉.等离子体渗氮流量控制系统的研究[J].中南民族大学学报(自然科学版),2003,22(3):40-42. |
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| 作者姓名： | 郑芙蓉 孙奉娄 危立辉 |
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| 作者单位： | 中南民族大学电子信息工程学院 |
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| 基金项目： | 国家民委科研基金资助项目 ( MZY990 0 0 1) |
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| 摘 要： | 针对等离子体渗氮工艺过程中存在的转子流量计测量不准、调节精度低、质量流量控制器价格高、电磁阀失效等问题，设计了一种新的等离子体渗氮流量控制系统，该系统具有精度高、响应快、性能稳定、价格低的特点。
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| 关 键 词： | 等离子体渗氮 流量控制 高速真空电磁阀 转子流量计 |
| 文章编号： | 1672-4321(2003)03-0040-03 |
| 修稿时间： | 2003年6月25日 |
Study on the Gas Flow Control of Plasma Nitriding System |
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| Zheng Furong Sun Fenglou Wei Lihui Zheng Furong Lect,College of Electronics and Information Engineering,SCUFN,Wuhan ,China.Study on the Gas Flow Control of Plasma Nitriding System[J].Journal of South-Central Univ for,2003,22(3):40-42. |
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| Authors: | Zheng Furong Sun Fenglou Wei Lihui Zheng Furong Lect College of Electronics and Information Engineering SCUFN Wuhan China |
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| Institution: | Zheng Furong Sun Fenglou Wei Lihui Zheng Furong Lect,College of Electronics and Information Engineering,SCUFN,Wuhan 430074,China |
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| Abstract: | Now there are many problemes in plasma nitriding processing ,for example , inaccurate flowmeter survey, invalid solenoid valves,low regulated precision and high price etc. In order to solve these problems, the new control scheme of gas flow for plasma nitriding is designed. |
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| Keywords: | plasma nitriding flux control the high speed on/off solenoid valve |
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