霍尔效应测试的系统误差分析

使用霍尔效应测试薄膜样品的电学性质,可获得样品的电阻率、有效载流子浓度、迁移率等性质;但由于计算公式及仪表测试精度的影响,测试得到的结果存在无法避免的误差。该文分析了范德保法测试和霍尔效应测试由于计算公式和测试仪表精度产生的系统误差,由此获知测试结果的误差。