| 数字化技术在玻璃表面检测系统中的应用 |
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| 引用本文： | 莫卫东,高伯龙. 数字化技术在玻璃表面检测系统中的应用[J]. 空军工程大学学报(自然科学版), 2000, 1(5): 1-4 |
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| 作者姓名： | 莫卫东 高伯龙 |
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| 作者单位： | [1]空军工程大学工程学院，陕西西安710038 [2]国防科技大学应用物理系，湖南长沙410073 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 通过把传统光学方法与现代数字化图像技术相结合，运用先进的数字化图像处理手段和Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图像的计算，并应用自己在理论研究上的突破，从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定。利用本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了λ／100，灵敏度为λ／1000。
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| 关 键 词： | 干涉仪 数字图像处理 Zernike多项式拟合 平面玻璃表面 |
| 修稿时间： | 2000-08-30 |
Research of a System to Inspect Surface of Optical Plane Glass With Quantizing Technique |
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| MO Wei-Dong,GAO Bo-Long. Research of a System to Inspect Surface of Optical Plane Glass With Quantizing Technique[J]. Journal of Air Force Engineering University(Natural Science Edition), 2000, 1(5): 1-4 |
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| Authors: | MO Wei-Dong GAO Bo-Long |
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| Affiliation: | 1. Engineenng InstJtute ,AFEU. , Xi''an 710038 , China; 2. National Defense Univers1ty of Science and Technology ,ChangSha 410073 , China |
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| Abstract: | The research is to umte the traditional optical method with the modern quantizing 1mage technique ,and to calculate mterferogram usmg the advance quantizing 1mage processmg means and fitting mterfero gram method with Zernike polynomials so that the evenness and other technical parameters of surface of optical plane glass can be quickly and precisely measured. Using the results of the research in the system to mspect the surface of plane glass , the precision of the system IS about ).,/100 and sensitivity reaches about À./1000 . |
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| Keywords: | interferometer processmg quantizing 1mage Zernike polynomials ,plane glass surface. |
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