硅表面磷扩散产生的压印位错“花结” 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

硅表面磷扩散产生的压印位错“花结”

作者姓名：	谢茂浓潘文元

摘要：	最近我们在研究硅中杂质扩散与缺陷的关系时，偶然观察到一种如压印位错“花结”的缺陷，为了了解这种缺陷的形成原因和结构特点，我们对大量实验样片进行了化
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