| 微电子技术的进展与挑战 |
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| 引用本文： | 林鸿溢,李映雪.微电子技术的进展与挑战[J].世界科技研究与发展,1999,21(4):31-38. |
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| 作者姓名： | 林鸿溢 李映雪 |
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| 作者单位： | 1. 北京理工大学电子工程系,北京,100081
2. 北京大学微电子研究所,北京,100871 |
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| 基金项目： | 国防预研和国家自然科学基金项目. |
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| 摘 要： | 微电子技术自巴丁、布拉顿和肖克莱发明晶体管至今，经历了半个世纪的发展，已经取得巨大进步，成为人类社会众多领域的关键技术，从而有力地推动，并将继续推动着人类社会全面进入信息时代。
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| 关 键 词： | 微电子技术 集成电路 纳米电子学 微机电系统 单芯片系统 研究方向 |
Progress and Challenge of The Microelectronic Technology |
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| LIN Hongyi,LI Yingxu.Progress and Challenge of The Microelectronic Technology[J].World Sci-tech R & D,1999,21(4):31-38. |
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| Authors: | LIN Hongyi LI Yingxu |
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