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| 高阻半导体薄层电阻测定方法研究 | |
| 引用本文： | 翟冬青,王英民.高阻半导体薄层电阻测定方法研究[J].河北大学学报(自然科学版),1983(1). |
| 作者姓名： | 翟冬青 王英民 |
| 作者单位： | 河北大学电子系 (翟冬青)，河北大学电子系(王英民) |
| 摘 要： | 本文提出了高阻半导体薄层电阻的一种测量方法。将待测样品用平面技术制备成矩形,薄层电阻由所加直流电压和电流指示算出。测量精度取决于欧姆接触的保证及电表精度,由薄膜厚度的精确控制和测量,可精确测定薄膜电阻率。 |
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